发明名称 | 制膜装置及其驱动方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件。该制膜装置及其驱动方法,是由使喷出液滴的喷出波形(第一信号)(W1),与使不喷出液滴、且付与液状体移位速度以保持该液状体低粘度的微振动波形(第二信号)(W2),控制付与液状体的振动。 | ||
申请公布号 | CN1263598C | 申请公布日期 | 2006.07.12 |
申请号 | CN03157012.7 | 申请日期 | 2003.09.09 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 臼井隆宽 |
分类号 | B41J2/00(2006.01);G02B5/20(2006.01) | 主分类号 | B41J2/00(2006.01) |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
主权项 | 1.一种制膜装置的驱动方法,用于通过对液状体付与振动而喷出液滴,其特征在于:通过使所述液滴喷出的第一信号和使所述液滴不喷出且向所述液状体施于使该液状体呈低粘度的移位速度的第二信号来控制所述振动,所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。 | ||
地址 | 日本东京 |