| 发明名称 | 半导体处理设备中的出入口结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种向半导体处理设备中的出入口结构，确保搬运容器保持稳定的放置状态，具有：隔板，设置在上述设备的外部区域和内部区域之间，具有使上述被处理晶片通过的出入口；门，布置在上述隔板的出入口；放置部，设置在上述外部区域内靠近上述出入口，该放置部的放置使上述搬运容器的开口部与上述出入口相对置；按压部件，设置在上述放置部的上方，把上述搬运容器按压到上述放置部；以及驱动部，与上述按压部件驱动连接。 | ||
| 申请公布号 | CN2795158Y | 申请公布日期 | 2006.07.12 |
| 申请号 | CN03243278.X | 申请日期 | 2003.04.14 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 竹内靖 |
| 分类号 | B65G49/07(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/324(2006.01) | 主分类号 | B65G49/07(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种半导体处理设备中的出入口结构，其特征在于，具有：隔板，设置在上述设备的外部区域和内部区域之间，具有使上述被处理晶片通过的出入口；门，布置在上述隔板的出入口；放置部，设置在上述外部区域内靠近上述出入口，该放置部的放置使上述搬运容器的开口部与上述出入口相对置；按压部件，设置在上述放置部的上方，把上述搬运容器按压到上述放置部；以及驱动部，与上述按压部件驱动连接。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||