缺陷检测装置

摘要

本发明的缺陷检测装置的构成包括：照明部，布置成对该被检测体照射照明光；摄像部，布置成对从上述被检测体来的光进行摄像；角度控制部，是与上述照明部连接的照明角度控制部及与前述摄像部连接的摄像角度控制部中至少一方的角度控制部；图像分析部，在由该角度控制部改变上述照明部及前述摄像部中至少一方的倾斜角度的同时，对由上述摄像部摄像的图像进行分析处理，求出光信息对应于该各倾斜角度的关系；判断部，根据由该图像分析部所求得的倾斜角度和光信息的关系，判断最适合观测的摄像条件；上述角度控制部根据该判断部的判断结果，对上述照明部及摄像部的倾斜角度进行设定，以满足上述摄像条件。

主权项

1、一种缺陷检测装置，根据向被检测体摄像所得到的图像数据找出缺陷，其特征在于包括：照明部，对该被检测体照射光；摄像部，对从上述被检测体来的光进行摄像；角度控制部，包括与上述照明部连接、设定上述照明部的倾斜角度的照明角度控制部、及与前述摄像部连接、设定上述摄像部的倾斜角度的摄像角度控制部；图像分析部，对由上述摄像部摄像的图像进行分析处理，求出与该各倾斜角度对应的亮度值；判断部，根据上述亮度值与上述各倾斜角度的关系，判断适合观测的倾斜角度；上述图像分析部和上述判断部设置在计算机中，上述计算机通过上述角度控制部改变上述照明部和上述摄像部中至少一个的倾斜角度的同时，接受通过上述摄像部摄像的图像，通过上述图像分析部进行分析处理，通过上述判断部判断适合观测的倾斜角度，根据上述判断部的判断结果，输出指示，控制上述照明角度控制部和上述摄像角度控制部，将上述照明部及摄像部设定为适合于观测的倾斜角度。