能提升长晶炉加料量的炉腔环

摘要

一种能提升长晶炉加料量的炉腔环，设置在一长晶炉的一上炉腔与一下炉腔之间，且与该上炉腔、该下炉腔共同界定出一腔室，并包含一对应于该上炉腔的顶壁、一对应于该下炉腔的底壁、一连结在该顶壁与该底壁周缘之间的内环壁、一连结在该顶壁与该底壁周缘之间且与该内环壁相对的外环壁、一接设在该外环壁的进水管及一接设在该外环壁的出水管，该顶壁、该底壁、该内环壁与该外环壁共同界定出一环状冷却水道，该进水管与该出水管连通至该冷却水道。利用该炉腔环的设置，可增加一坩埚的高度，以达到提升加料量之目的。