| 主权项 |
1.一种流量控制阀,其特征为: 具有:具备相对向的2个开口部之气体室; 分别安装于上述气体室之各开口部,且承受该气体 室的压力之受压面的面积不同之2个膜片; 连结上述2个膜片之连结轴; 将上述连结轴可朝其轴心方向滑动地加以支承的 支承手段; 设在上述气体室的外侧,供流体流通之内部流通路 ; 藉由连动于上述连结轴的滑动动作而滑动,来增减 调整流动于上述内部流通路的流体之流量的阀体; 以及 将已被压力控制或流量控制之气体供给至上述气 体室内的气体供给路径, 上述气体供给路径是其一端部侧分歧而形成2个分 歧管路,在这2个分歧管路中,其中一方的分歧管路 的出口部开口形成接近上述其中一方的膜片之受 压面而相对向,另一方的分歧管路之出口侧开口形 成接近上述另一方的膜片之受压面而相对向。 2.一种流量控制阀,其特征为: 具有:具备上下2个开口部之气体室; 分别安装于上述气体室之上下各开口部,且承受该 气体室的压力之受压面的面积不同之上下2个膜片 ; 连结上述上下2个膜片之连结轴; 将上述连结轴可朝其轴心方向滑动地加以支承的 支承手段; 设在上述气体室的外侧,供流体流通之内部流通路 ; 藉由连动于上述连结轴的滑动动作而滑动,来增减 调整流动于上述内部流通路的流体之流量的阀体; 以及 将已被压力控制或流量控制之气体供给至上述气 体室内的气体供给路径, 上述气体供给路径是其一端部侧分歧而形成2个分 歧管路,在这2个分歧管路中,其中一方的分歧管路 的出口部开口形成接近上述上侧膜片之受压面而 相对向,另一方的分歧管路之出口侧开口形成接近 上述下侧膜片之受压面而相对向。 3.如申请专利范围第1或2项之流量控制阀,其中上 述连结轴及上述支承手段是配置于上述气体室内 。 4.如申请专利范围第1或2项之流量控制阀,其中上 述阀体是安装于上述2个膜片中的任一方之外面, 上述内部流通路是构成通过安装有上述阀体的上 述其中一方的膜片之外面。 5.如申请专利范围第4项之流量控制阀,其中上述其 中一方的膜片之外面是受到以氟树脂般之防腐手 段所保护。 6.一种流量控制装置,其特征为: 具有:供给流体之管路、 设置于上述管路的途中之流量控制阀、 测量流动于上述管路的流体的流量之流量计、及 藉由根据在上述流量计所测量到的流量测量値与 流量设定値来控制上述流量控制阀,以将流动于上 述管路的流体的流量调整成变得与上述流量设定 部不相等之控制部, 上述流量控制阀是具有: 具备相对向的2个开口部之气体室; 分别安装于上述气体室之各开口部,且承受该气体 室的压力之受压面的面积不同之2个膜片; 连结上述2个膜片之连结轴; 将上述连结轴可朝其轴心方向滑动地加以支承的 支承手段; 设在上述气体室的外侧,连通于上述管路并且供流 动于该管路的流体流通之内部流通路; 藉由连动于上述连结轴的滑动动作而滑动,来增减 调整流动于上述内部流通路的流体之流量的阀体; 以及 将已被压力控制或流量控制之气体供给至上述气 体室内的气体供给路径, 上述气体供给路径是其一端部侧分歧而形成2个分 歧管路,在这2个分歧管路中,其中一方的分歧管路 的出口侧开口形成接近上述其中一方的膜片之受 压面而相对向,另一方的分歧管路之出口侧开口形 成接近上述另一方的膜片之受压面而相对向。 7.一种流量控制装置,其特征为: 具有:供给流体之管路、 设置于上述管路的途中之流量控制阀、 测量流动于上述管路的流体的流量之流量计、及 藉由根据在上述流量计所测量到的流量测量値与 流量设定値来控制上述流量控制阀,以将流动于上 述管路的流体的流量调整成变得与上述流量设定 部不相等之控制部, 上述流量控制阀是具有: 具备上下2个开口部之气体室; 分别安装于上述气体室之上下各开口部,且承受该 气体室的压力之受压面的面积不同之上下2个膜片 ; 连结上述上下2个膜片之连结轴; 将上述连结轴可朝其轴心方向滑动地加以支承的 支承手段; 设在上述气体室的外侧,供流体流通之内部流通路 ; 藉由连动于上述连结轴的滑动动作而滑动,来增减 调整流动于上述内部流通路的流体之流量的阀体; 以及 将已被压力控制或流量控制之气体供给至上述气 体室内的气体供给路径, 上述气体供给路径是其一端部侧分歧而形成2个分 歧管路,在这2个分歧管路中,其中一方的分歧管路 的出口部开口形成接近上述上侧膜片之受压面而 相对向,另一方的分歧管路之出口侧开口形成接近 上述下侧膜片之受压面而相对向。 8.如申请专利范围第6或7项之流量控制装置,其中 上述流量计,是由超音波流量计所形成,并且设置 于上述流量控制阀之下游侧。 9.如申请专利范围第6或7项之流量控制装置,其中 上述连结轴及上述支承手段是配置于上述气体室 内。 10.如申请专利范围第6或7项之流量控制装置,其中 上述阀体是安装于上述2个膜片中的任一方之外面 , 上述内部流通路是构成通过安装有上述阀体的上 述其中一方的膜片之外面。 11.如申请专利范围第10项之流量控制装置,其中上 述其中一方的膜片之外面是受到以氟树脂般之防 腐手段所保护。 图式简单说明: 第1图是本发明的一实施形态之流量控制阀的断面 图。 第2图是第1图中的阀体周围之扩大图。 第3图是使用第1图的流量控制阀所构成之流量控 制装置的说明图。 第4图是使用第1图的流量控制阀所构成之其他的 流量控制装置的说明图。 第5图是在第1及第2图的流量控制装置所使用之超 音波流量计的概略构成图。 第6图是以往的流量控制阀之说明图。 |
