| 摘要 |
<p>Verfahren zur Detektion von Unterschieden zwischen den physikalisch messbaren Eigenschaften einer Probe P gegenüber einer Referenzprobe R, bei dem man (i) ein Probe P bereitstellt, (ii) eine Referenzprobe R bereitstellt, (iii) ein flächiges Referenzfeld RF bereitstellt, (iv) ein erstes flächiges Muster aus Bereichen der Referenzprobe R und des Referenzfeldes RF und ein zweites flächiges Muster aus Bereichen der Probe P und des Referenzfeldes RF erzeugt, wobei das erste und zweite Muster durch eine orts- und wellenlängenabhängige Musterfunktion M(x, y, ?) beschrieben werden, (v) für das erste Muster zu einem frei wählbaren Zeitpunkt t<SUB>0</SUB> und für das zweite Muster zum Zeitpunkt t mittels eines Detektors die Transmission, Reflexion oder Streuung von Analysestrahlung durch das erste Muster bzw. zweite Muster in Abhängigkeit der Ortskoordinaten (x, y) des ersten bzw. zweiten Musters und der Wellenlänge ? der Analysestrahlung detektiert, und so eine erste Muster-Antwortfunktion M<SUB>0</SUB>(x, y, ?, t<SUB>0</SUB>), welche räumlich getrennte Bereiche einer Referenz-Antwortfunktion R<SUB>0</SUB>(x, y, ?, t<SUB>0</SUB>) und einer ersten Referenzfeld-Antwortfunktion RF<SUB>0</SUB>(x, y, ?, t<SUB>0</SUB>) enthält, für das erste Muster bestimmt, eine zweite Muster-Antwortfunktion M<SUB>t</SUB>(x, y, ?, t), welche räumlich getrennte Bereiche einer Proben-Antwortfunktion P<SUB>t</SUB>(x, y, ?, t) und einer zweiten Referenzfeld-Antwortfunktion RF<SUB>t</SUB>(x, y, ?, t) enthält, für das zweite Muster bestimmt, wobei die Funktionen M<SUB>0</SUB> und M<SUB>t</SUB> jeweils die Intensität der transmittierten, reflektierten oder gestreuten Analysestrahlung in Abhängigkeit von den Ortskoordinaten (x, y) des ersten bzw. zweiten Musters und der Wellenlänge ? zu den unterschiedlichen Zeitpunkten der Detektion t<SUB>0</SUB> bzw. t wiedergeben, (vi) eine Korrektur der Proben-Antwortfunktion P<SUB>t</SUB> derart vornimmt, dass man mittels der ersten und der zweiten Referenzfeld-Antwortfunktion RF<SUB>0</SUB> und RF<SUB>t </SUB>die detektorbedingten orts-, zeit- und wellenlängenabhängigen Schwankungen aus der Proben-Antwortfunktion P<SUB>t</SUB> eliminiert, wobei man eine korrigierte Proben-Antwortfunktion P<SUB>t</SUB>, <SUB>korr</SUB> erhält, (vii) aus der korrigierten Proben-Antwortfunktion P<SUB>t</SUB>, <SUB>korr</SUB> und der Referenz-Antwortfunktion R<SUB>0</SUB> die Änderung der physikalisch messbaren Eigenschaft bestimmt.</p> |
