Mikrowellenplasmaquelle

摘要

Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenplasmaquelle, bei der eine Plasmaquelle von einem Mikrowellen-Resonator umschlossen ist. Es ist Aufgabe der Erfindung, innerhalb einer Plasmaquelle ein homogeneres Plasma auszubilden und eine kürzere, nahezu konstante Verweilzeit des gebildeten Plasmas innerhalb der Plasmakammer vor dem Austreiben aus der Plasmakammer zu erreichen. Erfindungsgemäß ist dabei an einer Stirnfläche der Plasmakammer mindestens eine Plasmaaustrittsdüse ausgebildet und eine Zuführung für ein Plasmagas vorhanden. In der Plasmakammer ist ein Plasmaformungselement angeordnet, mit dem das für die Plasmabildung nutzbare Innenvolumen der Plasmakammer reduziert ist.