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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM UNMITTELBAREN MESSEN IN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG UNTER VERWENDUNG EINER INFRAROTLASER-SONDE
摘要
申请公布号 DE69927387(T2) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 DE19996027387T 申请日期 1999.07.26
申请人 INTEL CORPORATION, SANTA CLARA 发明人 PANICCIA, I.;RAO, R.;YEE, MUN
分类号 G01R1/06;G01R31/28;G01N21/41;G01R19/00;G01R31/302;G01R31/311 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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