发明名称 |
一种液晶显示器阵列衬底的制造方法 |
摘要 |
一种液晶显示器阵列衬底的制造方法包括以下步骤:通过在一衬底上形成一金属材料,在该衬底上形成一选通线和一栅极;在该衬底上形成一选通绝缘层;在该选通绝缘层上形成一有源层和一欧姆接触层;在该衬底上形成一数据线、一源极和一漏极;通过在该衬底上淀积一绝缘材料形成一钝化层;通过对该钝化层制作图案形成一漏极接触孔,该漏极接触孔露出漏极的一部分;在该钝化层上形成一透明金属层;在该透明金属层上形成一阻光层;通过将一掩模设置在阻光层之上来执行一曝光过程,该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分;通过对曝光的阻光层进行显影和对所曝光的透明金属层进行蚀刻,形成一象素电极。 |
申请公布号 |
CN1262873C |
申请公布日期 |
2006.07.05 |
申请号 |
CN02108754.7 |
申请日期 |
2002.03.29 |
申请人 |
LG.菲利浦LCD株式会社 |
发明人 |
黄旷兆;金佑炫 |
分类号 |
G02F1/136(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/26(2006.01) |
主分类号 |
G02F1/136(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐金国;陈红 |
主权项 |
1.一种液晶显示器阵列衬底的制造方法,包括以下步骤:在一衬底上形成一选通线和一栅极;在该衬底上形成一选通绝缘层;在该选通绝缘层上形成一有源层和一欧姆接触层;在该衬底上形成一数据线、一源极和一漏极;通过在该衬底上淀积绝缘材料形成一钝化层;通过对该钝化层制作图案形成一漏极接触孔,该漏极接触孔露出漏极的一部分;在该钝化层上形成一透明金属层;在该透明金属层上形成一阻光层;通过将一掩模设置在阻光层之上来执行一曝光过程,该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分;和通过对曝光的阻光层进行显影和对所曝光的透明金属层进行蚀刻,形成一象素电极;该掩模的阻光部分对应于象素电极,该掩模的透光部分对应于有源层、源极和漏极,以及缝部分对应于数据线;该缝部分具有至少两条缝。 |
地址 |
韩国首尔 |