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发明名称 A method of calibrating a lithographic apparatus, an alignment method, a computer program, a lithographic apparatus and a device manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1477862(A3) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 EP20040252825 申请日期 2004.05.14
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VAN BUEL, HENRICUS WILHELMUS MARIA;GUI, CHENG-QUN;DE VRIES, ALEX
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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