微元件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种微元件及其制造方法，其中微元件包括一基板、一隔离层、以及一溶液；隔离层设置于基板上，其中定义至少有一沟槽以及与沟槽连通的一导引流道；溶液位于沟槽中，且溶液的一部分借由沟槽和导引流道之间的毛细现象，而流到导引流道中。在本发明中，借由设置导引流道，当溶液接触到基板时，随着制程的进行，导引流道会自动调整平衡沟槽中的溶液，将过多的溶液排出沟槽外，降低混流扰流与端点缺陷的机率，最后溶液完全干燥后，即成一均匀的成膜。

主权项

1、一种微元件，其特征在于所述微元件包括：一基板；一隔离层，设置于该基板上，其中定义至少有一沟槽以及与该沟槽连通的一导引流道；以及一溶液，位于该沟槽中，其中该溶液的一部分借由该沟槽和该导引流道之间的毛细现象，而流到该导引流道中。