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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR ELEMENT PRODUCTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR20060075574(A)
申请公布日期
2006.07.04
申请号
KR20040114379
申请日期
2004.12.28
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
JANG, DONG SOO
分类号
H01L21/68;H01L21/205;H01L21/306
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
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