发明名称 EQUIPMENT FOR DETECTING LEAK POINT
摘要
申请公布号 KR20060075159(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040113732 申请日期 2004.12.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, JEONG CHEOL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址