量测光罩设计型样之线宽的方法与系统

摘要

本发明系提供一种量测一光罩设计型样之一线宽之方法与系统。该方法包含有：建置一伺服器，其系包含有一量测系统；经由网际网路建立该伺服器与一远端终端机之连结；以及使用该远端终端机登入该伺服器，以将该光罩设计型样传送至该伺服器并远端操作该量测系统来量测该光罩设计型样之该线宽。