晶圆固定装置

摘要

一种晶圆固定装置，主要包含有一高压密闭舱体以及一晶圆载台，该晶圆载台系设置于该高压密闭舱体内，用以承载一晶圆，由该高压密闭舱体提供之一高压舱压系能施加于该晶圆，以使该晶圆平贴于该晶圆载台上。