| 主权项 |
1.一种具有至少一导引滚筒(2)之导引装置(1),其具 有一轴(5)且配置在一可抽成真空之导带处理设备 中以对各导带(10)进行导引,该轴(5)之空间位置可 调整,其特征为: 该导引滚筒(2)定位在二个旋转轴承(11,12)之间,其 中至少一旋转轴承可相对于另一旋转轴承以横向 于该轴(5)之方式而移位。 2.如申请专利范围第1项之导引装置,其中可移位之 该旋转轴承(12)配置在一室壁(14)上。 3.如申请专利范围第2项之导引装置,其中可移位之 该旋转轴承(12)可平行于该室壁(14)而移位。 4.如申请专利范围第2项之导引装置,其中可移位之 该旋转轴承(12)具有一固定在该室壁(14)上之滑板 导引件(15),其上可利用该旋转轴承(12)来导引该滑 板(16)。 5.如申请专利范围第4项之导引装置,其中可移位之 该旋转轴承(12)以可摆动之方式保持在该滑板(16) 上。 6.如申请专利范围第2项之导引装置,其中该滑板导 引件(15)之移位方向位于该导引滚筒(2)之经由该导 带(10)而卷绕所形成之角度之一半角度中。 7.如申请专利范围第1项之导引装置,其中可移位之 该旋转轴承(12)具有一遥控式移位驱动器(21)。 8.如申请专利范围第7项之导引装置,其中该移位驱 动器(21)由一电动马达(22),一减速传动器(23)和一旋 转耦合器(24)所构成。 9.如申请专利范围第8项之导引装置,其中该旋转耦 合器(24)具有一种弹性之中介元件。 10.如申请专利范围第8项之导引装置,其中该电动 马达(22),减速传动器(23)和旋转耦合器(24)具有互相 对齐之轴。 11.如申请专利范围第10项之导引装置,其中各个对 齐之轴平行于该滑板导引件(15)之动方向而对准。 12.如申请专利范围第4项之导引装置,其中该滑板 导引件(15)之未由该滑板(16)所覆盖之部份由至少 一折棚(26)所覆盖。 13.如申请专利范围第4项之导引装置,其中该滑板 导引件(15)在二个末端分别具有一种止动件(15a,15b) 。 14.如中请专利范围第1项之导引装置,其中该导引 滚筒(2)之在另一末端上之不可在横方向中移位之 旋转轴承(11)以可摆动之方式固定在一保持件(27) 上。 15.如申请专利范围第14项之导引装置,其中该不可 移位之旋转轴承(11)之该保持件具有一种轴间隙以 平衡该导引滚筒(2)之角度-和长度变化。 16.如申请专利范围第1项之导引装置,其中在由可 抽成真空之各室(32,33,34,45)所形成之串连配置中各 可移位之导引滚筒(22)分别配置在一种缝隙(19)之 前以作为至下一室之贯通孔。 17.如申请专利范围第1项之导引装置,其中在由可 抽成真空之各室(32,33,34,45)所形成之串连配置中各 可移位之导引滚筒(22)分别配置在一种缝隙(19)之 后以作为至下一室之贯通孔。 18.如申请专利范围第1项之导引装置,其中在连续 之导带(10)之至少一边缘之区域中配置至少一种光 学感测器以测得各边缘之运行路径和该移位驱动 器(21)之影响。 19.如申请专利范围第18项之导引装置,其中在该导 带运行路径上在垂直于导带边缘之一条直线上配 置多个光学感测器以测定瞬间之导带运行路径。 图式简单说明: 第1图 在导引滚筒之相对于该轴成径向中观看时 一导引装置之部份切面图。 第2图 一导引滚筒之径向切面图,其包含一在其上 导引之导带。 第3图 各处理-或涂层设备之相串连之室模组之透 视图。 |
