基板处理装置及使用基板处理装置之基板处理方法

摘要

本发明揭示一种基板处理装置，其包括：一将处理溶液供应于一基板上之处理溶液分配器、一输送该基板之输送单元及一控制该输送单元以便以一倾斜位置输送该基板之控制器。该基板系藉由相对于一平行于基板之一输送方向延伸之一轴线之旋转而横向倾斜。可按一交替方式在两个方向上实施该旋转。该装置适用于无论基板大小如何皆均匀地处理基板。