曝光装置

摘要

一光曝光装置包括：一夹具，其适合在表面上接受基板；在夹具中的复数个第一脱模顶梢，其可上下移动在夹具表面上承载／卸下基板；在／由夹具中的复数个第二脱模顶梢，以释放夹具与基板的静电电荷。