| 摘要 |
<p>Bei einer Kontaktanordnung, insbesondere für eine Messsonde oder einen Messkopf, zur Hochfrequenzmessung, insbesondere auf einem Halbleiterwafer, mit einem kontaktseitigen Ende (12) zum elektrischen Kontaktieren von planaren Strukturen, wobei am kontaktseitigen Ende (12) eine koplanare Leiterstruktur mit wenigstens zwei von einem Dielektrikum (10) getragenen Leitern (14) angeordnet ist, wobei zwischen dem Dielektrikum (10) und dem kontaktseitigen Ende (12) die Messspitze derart ausgebildet ist, dass die Leiter (14) der koplanaren Leiterstruktur frei im Raum und bzgl. des halternden Dielektrikums (10) federnd angeordnet sind, ist die Anordnung derart getroffen, dass auf dem Dielektrikum (10) wenigstens eine Anordnung (24) zum Übertragen von elektrischen Signalen angeordnet ist, die elektrisch mit wenigstens einem Leiter (14) der koplanaren Leiterstruktur derart verbunden ist, dass diese Anordnung (24) Signale von dem wenigstens einen mit der Anordnung (24) elektrisch verbundenen Leiter (14) überträgt.</p> |
