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发明名称 VERWENDUNG EINER VERNETZTEN ELASTOMERENZUSAMMENSETZUNG ZUR VERSIEGELUNG EINER HALBLEITERHERSTELLUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60028214(D1) 申请公布日期 2006.06.29
申请号 DE2000628214 申请日期 2000.06.15
申请人 DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 发明人 TANAKA, HIROYUKI;HASEGAWA, MASANORI;NOGUCHI, TSUYOSHI;HIGASHINO, KATSUHIKO;NISHIMURA, YOSUKE
分类号 C08L101/00;C08K3/36;C08K9/00;C08K9/02;C08K9/06;H01L21/205;H01L21/302;H01L23/29 主分类号 C08L101/00
代理机构 代理人
主权项
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