真空等离子渗硫方法

摘要

本发明真空等离子渗硫方法包括工件表面清洗、装入真空室、抽真空、加热硫源使之升华、在高压电场中使气态硫离子化并渗硫、充保护气体冷却、出炉，其中工件清洗后置于压升率可达10^－3Pa/h、极限真空可约达0.1Pa的真空室中，抽真空至20～100Pa；将置于阴极板上的工件在35～120℃下加热20～40min并保持真空度0.1～1Pa，以使工件表面上的吸附物脱附，并使表面活化；保持上述温度，在800～1000V直流电场中，使经加热升华的气态硫电离成硫正离子并形成硫等离子体；直接用硫等离子体渗硫，历时1～30min；最后向真空室中充入惰性气体或还原性气体，冷却工件，取出工件。该方法的工艺条件更温和，可降低能耗，缩短处理时间，提高生产效率，还可提高表面处理的均匀性和质量，大大降低电击伤所致的废品率，特别有利于处理精密工件。

主权项

1.真空等离子渗硫方法，其中包括工件表面清洗、装入真空室、抽真空、加热硫源使之升华、在高压电场中使气态硫离子化并渗硫、充保护气体冷却、出炉，其特征在于，工件清洗后置于压升率可达10-3Pa/h、极限真空可约达0.1Pa的真空室中，抽真空至20～100Pa；将置于阴极板上的工件在35～120℃下加热20～40min并保持真空度0.1～1Pa，以使工件表面上的吸附物脱附，并使表面活化；保持上述温度，在800～1000V直流电场中，使经加热升华的气态硫电离成硫正离子并形成硫等离子体；直接用硫等离子体渗硫，历时1～30min；最后向真空室中充入惰性气体或还原性气体，使工件冷却；工件冷却后，从炉中取出工件。