DEVICE FOR THE MICROSCOPIC EXAMINATION OF SAMPLES

摘要

Beschrieben ist eine Vorrichtung zur mikroskopischen Untersuchung von Proben, insbesondere im Scan-Verfahren, umfassend eine abbildende Optik (1) und einen Probenträger (2), wobei die abbildende Optik und die zu untersuchende Probe auf dem Probenträger relativ zueinander bewegbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Vorrichtung zur Kontrolle und gegebenenfalls Adjustierung der Fokusebene aufweist, wobei die Vorrichtung zur Kontrolle der Fokusebene umfasst: - eine Laserlichtquelle (4), die einen Laserstrahl erzeugt, der parallel zur optischen Achse der abbildenden Optik durch die abbildende Optik verläuft, so dass der Laserstrahl an der Grenzfläche zwischen Probenträger und der zu untersuchenden Probe total reflektiert wird, - eine Detektionseinrichtung (9) zur Detektion des total reflektierten Laserstrahles und - eine mit der Detektionseinrichtung gekoppelte Kontrolleinrichtung (10, 11) für die Fokusebene, die vorzugsweise auch eine Adjustierungseinrichtung für die Fokusebene ist.