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发明名称 LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS HAVING MULTIPLE GAS MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 KR20060073835(A) 申请公布日期 2006.06.29
申请号 KR20040112269 申请日期 2004.12.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, TAE SUN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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