发明名称
摘要
申请公布号 JP3790691(B2) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 JP20010268424 申请日期 2001.09.05
申请人 发明人
分类号 F26B5/14;H01L21/304;F26B9/06;F26B15/12 主分类号 F26B5/14
代理机构 代理人
主权项
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