发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060072919(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040111694 申请日期 2004.12.24
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;KO, YOUNG BAE;LEE, JEONG BIN
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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