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发明名称 GAS SCRUBBER OF DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060072755(A) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 KR20040111477 申请日期 2004.12.23
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 PARK, JAE HYEON
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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