| 发明名称 | 用选择性金属蚀刻提高声共振器的性能 | ||
| 摘要 | 一种声共振器，包括衬底、第一电极、压电材料层和第二电极。衬底具有第一表面并且第一电极与该表面相邻。压电材料层与第一电极相邻，第二电极与压电材料层相邻，且位于第一平面内并具有边缘。压电材料层具有相邻于第二电极边缘的凹槽结构。 | ||
| 申请公布号 | CN1794572A | 申请公布日期 | 2006.06.28 |
| 申请号 | CN200510117370.4 | 申请日期 | 2005.11.03 |
| 申请人 | 安捷伦科技有限公司 | 发明人 | 冯宏俊;罗纳德·S·法兹罗 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01);H03H3/02(2006.01);H01L41/08(2006.01) | 主分类号 | H03H9/17(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 肖善强 |
| 主权项 | 1.一种声共振器，包括：衬底；与衬底相邻的第一电极；与第一电极相邻的压电层，所述压电层包括凹槽结构；和与压电层相邻的第二电极，所述第二电极具有边缘。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||