| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к устройствам для нанесения покрытий на рулонные материалы и может быть использовано в различных областях, например, при производстве электронных компонентов, магнитных носителей записывающих устройств, декоративных покрытий и т.д. Установка для нанесения покрытий в вакууме включает камеру напыления с испарителем и механизмом подачи испаряемого материала, камеру пушек, систему перемотки, систему откачки, систему газонатекания, пневмосистему и систему электропитания и управления. От известных отличается тем, что установка дополнительно оснащена устройством перемещения, на котором расположена система перемотки, при этом система перемещения выполнена с возможностью стыковки-растыковки с камерой напыления. Кроме того, установка для нанесения покрытий в вакууме дополнительно оснащена системой охлаждения. При этом камера напыления дополнительно оснащена верхним и нижним защитным экранами, а также дополнительно оснащена заслонками. Кроме того, система перемотки выполнена в виде двух плит, закрепленных на опорах.</p> |
