发明名称 METHOD FOR MAKING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING BARC SILYLATION
摘要
申请公布号 KR20060070659(A) 申请公布日期 2006.06.26
申请号 KR20040109200 申请日期 2004.12.21
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 CHOI, JAE SUNG
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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