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经营范围
发明名称
Verfahren und System zur Inspektion eines Wafers
摘要
申请公布号
DE102004029014(B4)
申请公布日期
2006.06.22
申请号
DE200410029014
申请日期
2004.06.16
申请人
LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH
发明人
BACKHAUS, HENNING;KREH, ALBERT
分类号
G01N21/95;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/95
代理机构
代理人
主权项
地址
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