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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION METHOD FOR REMOVING SURFACE SCRATCH CAUSED BY CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PROCESS
摘要
申请公布号
KR100595141(B1)
申请公布日期
2006.06.22
申请号
KR20040117838
申请日期
2004.12.31
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, HWAL PYO
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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