抛光磨料及其制造方法

摘要

本发明提供一种抛光磨料，其包括纳米碳球、富勒烯粉末、钻石颗粒以及填充材料，该填充材料包括环氧树脂、硬化剂和分散剂等。本发明还提供上述抛光磨料的制造方法。本发明所提供的抛光磨料利用纳米碳球和富勒烯粉末的固态润滑性能，以增加抛光磨料的润滑作用，避免工件抛光时产生划痕。本发明所提供的抛光磨料广泛应用在玻璃制品、光学组件、陶瓷器件以及半导体芯片的抛光制程中，可达到亚纳米级表面粗糙度。

主权项

1.一种抛光磨料，包括填充材料和混合其中的钻石颗粒，其特征在于：所述抛光磨料还包括混合在所述填充材料中的纳米碳球和富勒烯粉末。