| 发明名称 | 具有检测反应室状态功能的化学气相沉积装置及检测方法 | ||
| 摘要 | 一种化学气相沉积装置，其包含有一加热支撑座(heating holder)设置于一反应室内，一淋气头(shower head)平行设置于该加热支撑座的上方，且该加热支撑座与该淋气头构成一电容，以及一反应室状态检测装置(chamber conditiondetector)，分别与该加热支撑座与该淋气头电连接，该反应室状态检测装置包含有一电阻，且该电阻与该电容串联构成一RC电路。 | ||
| 申请公布号 | CN1789994A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN200410081939.1 | 申请日期 | 2004.12.16 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 赖建兴 |
| 分类号 | G01N27/22(2006.01);G01N27/00(2006.01) | 主分类号 | G01N27/22(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 蒲迈文;黄小临 |
| 主权项 | 1.一种具有检测反应室状态功能的化学气相沉积装置，其包含有：一加热支撑座，设置于一反应室内；一淋气头，平行设置于该加热支撑座的上方，且该加热支撑座与该淋气头构成一电容；以及一反应室状态检测装置，分别与该加热支撑座与该淋气头电连接，该反应室状态检测装置包含有一电阻，且该电阻与该电容串联构成一RC电路。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区 | ||