发明名称 |
衬底抛光设备 |
摘要 |
一种衬底抛光设备,其将诸如半导体晶片的衬底表面抛光至平坦镜面光洁度。根据本发明的衬底抛光设备包括:可旋转工作台(12),其具有用于抛光半导体衬底(18)的抛光垫;光发射和接收装置(80,82),其用于发射测量光,以使之穿过设置在抛光垫(16)上的通孔到达半导体衬底(18),并且接收来自半导体衬底(18)的反射光,以便测量该半导体衬底(18)上的薄膜;以及供给通道(44),其用于向测量光的通道供应流体。该供给通道(44)具有设置在通孔(84)中的出口部分。 |
申请公布号 |
CN1791490A |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
申请号 |
CN200480013400.0 |
申请日期 |
2004.05.13 |
申请人 |
株式会社荏原制作所 |
发明人 |
广川一人;中井俊辅;大田真朗;和田雄高;小林洋一 |
分类号 |
B24B49/12(2006.01);B24B37/00(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
B24B49/12(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
王永建 |
主权项 |
1.一种衬底抛光设备,包括:可旋转工作台,其具有用于抛光半导体衬底的抛光垫;光发射和接收装置,其用于发射测量光,以使之穿过形成于所述抛光垫上的通孔到达所述半导体衬底,并且接收来自所述半导体衬底的反射光,以便测量所述半导体衬底上的薄膜;以及供给通道,其用于向所述测量光的通道供应流体;其中,所述供给通道具有位于所述通孔中的出口部分。 |
地址 |
日本东京 |