发明名称 非易失性内存及其制造方法
摘要 一种非易失性内存及其制造方法,其结构于一衬底中具有一沟渠,而有一埋入式位线横越此沟渠,且有一字线覆盖此沟渠并越过埋入式位线,又于衬底与字线之间有一层电荷捕捉层。
申请公布号 CN1260821C 申请公布日期 2006.06.21
申请号 CN02107552.2 申请日期 2002.03.15
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 郭东政
分类号 H01L27/112(2006.01);H01L21/8246(2006.01) 主分类号 H01L27/112(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王学强
主权项 1.一种非易失性内存,包括:一衬底,该衬底中具有一沟渠;一埋入式位线,横越该沟渠;一字线,覆盖该沟渠并越过该埋入式位线;一电荷捕捉层,位于该衬底与该字线之间。
地址 台湾省新竹科学工业园区力行路16号