发明名称 |
Method for using an in line coating apparatus |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren für den Betrieb einer Inline-Beschichtungsanordnung, die aus 2 n + 1 Kammern besteht, wobei n eine ganze Zahl, und zwar vorzugsweise 2 ist. Indem wenigstens zwischen zweimal zwei Kammern dieser Anlage jeweils ein Tor geöffnet und geschlossen werden kann, ist es möglich, mit der gleichen Anlage auch Substrate mit Übergröße zu beschichten. Das Öffnen und Schließen der Tore ist dabei mit einer Änderung der Druckverläufe im Vergleich zu einem Standardbetrieb verbunden.
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申请公布号 |
EP1571234(A3) |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
申请号 |
EP20040024454 |
申请日期 |
2004.10.14 |
申请人 |
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG |
发明人 |
RICHERT, HOLGER;WEIMANN, MANFRED |
分类号 |
B65G49/00;C23C14/56;B05C15/00;B65G49/06;C23C16/455;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G49/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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