发明名称 METHOD FOR ASHING THE SEMICONDUTOR SUBSTRATE AFTER OXIDE
摘要
申请公布号 KR20060067214(A) 申请公布日期 2006.06.19
申请号 KR20040105747 申请日期 2004.12.14
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JO, BO YEOUN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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