| 摘要 |
本发明系揭露一种利用钻石微波微带线之表面声波滤波器及其制造方法。利用钻石(Diamond)层或类钻碳(Diamond Like Carbon, DLC)层之高声速及优越之震动性，结合微波微带线(Microwave Microstrip line)及交叉指状电极转换器(Interdigital Transducers；IDTs)形成之表面声波滤波器。在矽基板或砷化镓(GaAs)基板上形成一层钻石层(或类钻石层)，然后再于钻石层上形成一层氧化锌(ZnO)或氮化铝(AlN)作为压电薄膜，再镀上铝(Al)，以微影蚀刻或举离法(lift–off)形成方形耦合微带线开回路谐振器(coupled microstrip square open–loop resonators)及表面声波交叉指状电极转换器，于基板背面镀上一层接地用铝金属即形成微波微带线与表面声波IDTs交错耦合之滤波器。 |
