防护环

摘要

一种用于沈积机台之防护环。当晶圆配置于沈积机台上，且防护环配置于晶圆周围时，防护环邻近晶圆之顶面系不低于晶圆顶面。此外，当晶圆配置于沈积机台上，且防护环配置于晶圆周围时，防护环与晶圆之间的间距小于0.7毫米。本发明之防护环可使得薄膜在晶圆侧壁不会形成侧边沈积之现象，因此可提高薄膜沈积制程之平坦度与良率。