在基材上以具有高一致性的横向蚀刻速率蚀刻材料层的方法及设备

摘要

一种使用包含钝化气体之气体混合物在基材上以具有高一致性的横向蚀刻速率蚀刻材料层的方法及设备。该钝化气体系经提供至该基材周边区域，以钝化所蚀刻结构之侧壁。