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发明名称 有机金属化合物之制造方法
摘要 本发明提供实质上为纯的并且包含少量氧化杂质之第IIB及IIIA族金属的有机金属化合物。另外也提供此有机金属化合物的制造方法。094129631-p01.bmp
申请公布号 TW200619222 申请公布日期 2006.06.16
申请号 TW094129631 申请日期 2005.08.30
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 雪奈-卡卡提 德欧达塔 凡娜亚;VINAYAK;阿玛齐治 阿塔雪斯
分类号 C07F5/00;C07F3/00 主分类号 C07F5/00
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国
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