用于制造显示装置之设备

摘要

本发明系关于一种形成一薄膜之设备，其包括：一室；一在该室中之基座；一在该基座上之气体注入器，该气体注入器具有复数个注入孔；一连接至该气体注入器之轴，该轴具有一连接至该等复数个注入孔之流道；及一蒸镀源，该蒸镀源蒸发源材料及为该气体注入器供应经蒸发之源材料。