微粒子堆积装置,微粒子堆积方法及发光元件之制造方法

摘要

本发明之目的是提供没有杂质混入(以均质)，只堆积所希望之大小之微粒子之微粒子堆积物。从毛细管前端喷出具有微粒子分散在溶媒中之溶液，成为微细液滴流，和使喷出之微细液滴带电。该液滴流通过喷出喷嘴被导入到减压室内成为自由喷流。在减压室内行进之自由喷流，通过被设在维持高真空之成膜室之间隙喷嘴，导入到内部成为带电微粒子流。其次，利用能量分离装置只选择带电微粒子流中之微粒子中之具有特定能量之微粒子，将其堆积在被配置于内部之被堆积体上。