| 发明名称 |
顶部抗反射涂布聚合物、其制备方法及包括它之顶部抗反射涂布组成物 |
| 摘要 |
本发明在此揭示一种包括由下式1所表示之顶部抗反射涂布聚合物及其组成物：094120729-p01.bmp其中R1与R2独立地为氢、甲基或氟甲基；R3与R4独立地为C1–10烃、或其中氢原子全部地或部份地经氟原子取代之C1–10烃；及a、b、c、d和e表示各单体之莫耳分率且在约0.05至约0.9之范围内，使得a、b、c、d和e之和等于1。094120729-p01.bmp |
| 申请公布号 |
TW200619243 |
申请公布日期 |
2006.06.16 |
| 申请号 |
TW094120729 |
申请日期 |
2005.06.22 |
| 申请人 |
海力士半导体股份有限公司 |
发明人 |
郑昌;卜圭;林昌文;文承灿 |
| 分类号 |
C08F232/08;C08F234/02;C08F220/02;G02B1/11;H01L21/31 |
主分类号 |
C08F232/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
何金涂;林荣琳 |
| 主权项 |
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| 地址 |
韩国 |
