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发明名称
曝光用光源
摘要
【课题】提供一种高输出的平行光曝光用光源,作为取代灯泡的发光源而使用复数个平面发光元件,使用该平面发光元件与光学系。【解决手段】实装于基板1上的复数个平面发光元件所发出的光作为发光源,将该光线从接近该平面发光元件而配置的光学多角柱3的端面入射,由光学多角柱3使照度平均化。从光学多角柱3的其他端面射出的光9由透镜4聚光而照射至曲面镜5,由曲面镜5将光线变成平行光,而将平行光11照射至光罩6。由照射至光罩6的平行光11进行曝光,将绘于光罩6的图案转写至形成于基板7上的感光膜。
申请公布号
TW200619862
申请公布日期
2006.06.16
申请号
TW094127517
申请日期
2005.08.12
申请人
三荣技研股份有限公司
发明人
三宅健
分类号
G03F7/20;G02B7/182
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
洪澄文
主权项
地址
日本
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