| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT D'UNE COUCHE MINCE SUR UNE COUCHE OXYDEE D'UN SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2869325(B1) |
申请公布日期 |
2006.06.16 |
| 申请号 |
FR20040004461 |
申请日期 |
2004.04.27 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL |
发明人 |
DAMLENCOURT JEAN FRANCOIS;RENAULT OLIVIER |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/06;C23C16/14;C23C16/22;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56;H01L21/314 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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