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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING OVERLAY VERNIER IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060064148(A) 申请公布日期 2006.06.13
申请号 KR20040102849 申请日期 2004.12.08
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JUNG, WOO YUNG
分类号 H01L21/027;H01L21/66 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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