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Ein Winkelgeschwindigkeitsdetektor (100) enthält eine scheibenförmige Trägheitsmasse (30), welche auf einem Substrat (10) über Ansteuerungsbalken (40) und eine zweite Masse (32) getragen wird, welche über Erfassungsbalken (50) mit der Trägheitsmasse verbunden ist. Die Trägheitsmasse (30) oszilliert in ihrer Rotationsrichtung um eine Mittelachse (z) durch eine elektrostatische Kraft. Wenn eine Winkelgeschwindigkeit (OMEGAx) um eine Erfassungsachse (x), welche senkrecht zu der Mittelachse (z) verläuft, der zweiten Masse (32) aufgebracht wird, während die Trägheitsmasse (30) oszilliert, verschiebt sich die zweite Masse (32) in der Richtung parallel zu der Mittelachse (z). Es ändert sich eine Kapazität zwischen der zweiten Masse (32) und dem Substrat (10) entsprechend der Verschiebung der zweiten Masse. Es wird die Winkelgeschwindigkeit (OMEGAx) auf der Grundlage der Änderungen der Kapazität erfasst. Da die Ansteuerungsbalken (40) es der Trägheitsmasse (30) gestatten, lediglich in der Rotationsrichtung zu oszillieren, können die Ansteuerungsbalken (40) leicht entworfen und hergestellt werden.
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