| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Durchführen eines Prozesses an einem integrierten Schaltkreis, umfassend die folgenden Schritte: DOLLAR A - Einlesen eines Datenschlüssels, welcher eine Mehrzahl von Teilschlüsseln umfaßt; DOLLAR A - Ermitteln eines Prozeß-Parametersatzes unter Verwendung eines Parameterverzeichnisses in Abhängigkeit des eingelesenen Datenschlüssels und DOLLAR A - Einstellen der für den Prozeß benötigten Parameter entsprechend des ermittelten Parametersatzes; DOLLAR A wobei das Parameterverzeichnis umfaßt: DOLLAR A - eine Mehrzahl von Regelschlüsseln, welche jeweils eine Mehrzahl von Teilschlüsseln umfassen, wobei DOLLAR A - den Teilschlüsseln jeweils vorbestimmbare Werte aus einer Mehrzahl von Werten zugeordnet sind und DOLLAR A - zumindest einem Teilschlüssel zumindest eines Regelschlüssels ein Platzhalter zugeordnet ist, welcher alle für den jeweiligen Teilschlüssel möglichen vorbestimmbaren Werte annehmen kann; DOLLAR A - eine Mehrzahl von Parametersätzen, wobei jeweils einem Regelschlüssel jeweils ein Parametersatz zugeordnet ist; DOLLAR A wobei der Schritt des Ermittelns eines Parametersatzes die folgenden Schritte umfaßt: DOLLAR A - Vergleichen des eingelesenen Datenschlüssels mit den in dem Parameterverzeichnis hinterlegten Regelschlüsseln; DOLLAR A - Ermitteln des bzw. der Regelschlüssel(s), dessen bzw. deren Teilschlüssel mit denjenigen des eingelesenen Datenschlüssels ...
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