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发明名称
ACOUSTIC DIFFUSERS FOR ACOUSTIC FIELD UNIFORMITY
摘要
申请公布号
EP1663534(A1)
申请公布日期
2006.06.07
申请号
EP20040783708
申请日期
2004.09.10
申请人
FSI INTERNATIONAL, INC.
发明人
CHRISTENSON, KURT, K.
分类号
B08B3/12;G10K11/20;H01L21/00;H03G3/00;(IPC1-7):B08B3/12;B01J19/10
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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